光刻機用冷水機是工業(yè)冷水機的一種，而每一臺設備在出廠(chǎng)前都需要經(jīng)過(guò)詳細的檢測過(guò)程。那么在出廠(chǎng)前需要調試哪些內容呢。

　　1、光刻機用冷水機的電流里調試

　　光刻機用冷水機在運行的時(shí)候可以檢測光刻機用冷水機循環(huán)泵中的電流里，廠(chǎng)家也可以由此判斷電流里的變化，是過(guò)大還是過(guò)小，方便觀(guān)察水系統的狀況。

　　2、靜水壓調試

　　光刻機用冷水機的出水里、進(jìn)水管壓力值同樣是非常重要的，廠(chǎng)家和客戶(hù)可以通過(guò)出水里的多少來(lái)判斷光刻機用冷水機的運行是否正常，可以判斷出來(lái)是哪—段軟管壓力值稍大,方便修整；

　　3、銅管深吸氣溫度調試

　　運行光刻機用冷水機大概半個(gè)小時(shí)候，如果壓縮機的深吸氣溫度少于0度的時(shí)候，說(shuō)明了換熱器中的出水里沒(méi)有達到固定值。容易造成揮發(fā)力下挫。

　　3、光刻機用冷水機冷量過(guò)小時(shí)，會(huì )使蒸發(fā)器供液不足，產(chǎn)生過(guò)大熱度，對系統性能會(huì )造成不利的影響。當光刻機用冷水機冷量過(guò)大時(shí)，會(huì )引起震蕩，間歇性的使蒸發(fā)器供液過(guò)量，導致壓縮機的吸氣壓力出現劇烈波動(dòng)，甚至有液態(tài)制冷劑進(jìn)入壓縮機，引起液擊(濕沖程)現象。

4、制冷系統的穩定性與蒸發(fā)器出口端制冷劑過(guò)熱度有關(guān)，因此及時(shí)準確的排除熱力膨脹閥的故障及正確的選擇與系統匹配的熱力膨脹閥是很重要。