光刻機用低溫冷水機組多運用于各個(gè)行業(yè)之中，很多行業(yè)都需要購買(mǎi)光刻機來(lái)進(jìn)行作業(yè)，這也涉及到光刻機用低溫冷水機組的日常維護。

　　1、光刻機用低溫冷水機組組冷卻系統的基本部件有：冷凝器、受液器、干燥過(guò)濾器、蒸發(fā)器、熱膨脹閥等等。

　　2、光刻機用低溫冷水機組組是將常溫的水通過(guò)冷水機的壓縮機制冷到溫度以強化冷卻模具或機器，作為單機使用，散熱裝置為內置之風(fēng)扇，主要有三個(gè)相互聯(lián)系的系統：制冷劑循環(huán)系統、水循環(huán)系統、電器自控系統。

　　3、光刻機用低溫冷水機組蒸發(fā)器中的液態(tài)制冷劑吸收水中的熱量并開(kāi)始蒸發(fā)，終制冷劑與水之間形成溫度差，液態(tài)制冷劑亦蒸發(fā)變?yōu)闅鈶B(tài)，后被壓縮機吸入并壓縮（壓力和溫度增加）,氣態(tài)制冷劑通過(guò)冷凝器釋放熱量，凝結成液體。通過(guò)膨脹閥（或毛細管）節流后變成低溫低壓制冷劑進(jìn)入蒸發(fā)器，完成制冷劑循環(huán)過(guò)程。

　　4、定期清洗冷凝器、蒸發(fā)器，使整機保持良好運轉；保持光刻機用低溫冷水機組冷卻塔清潔干凈，定期清洗，冷卻塔內不得有雜物及其它障礙物，以免造成傷害。

　　5、光刻機用低溫冷水機組的冷凍水泵不可在水箱內無(wú)水運轉；操作開(kāi)關(guān)請盡理避免連續切換。

6、水溫達到設定溫度時(shí)，壓縮機會(huì )自動(dòng)停止運行，此屬正?，F象；溫度開(kāi)關(guān)應避免設定在5℃以下，防止蒸發(fā)器結冰。