在制藥化工行業(yè)，光刻機用冷水機組是使用較多的制冷設備，常配套用于各種反應釜進(jìn)行制冷反應，其具備運作平穩靠譜的優(yōu)勢、常見(jiàn)故障少、特性好、震動(dòng)小，噪音低、便于維護保養、使用期限長(cháng)等優(yōu)勢。

　　1、光刻機用冷水機組設備可依據冷載貨量的尺寸，能夠應用一臺設備或幾臺設備的組成。制冷壓縮機能夠依據負荷轉變 全自動(dòng)更替運作，自動(dòng)調節動(dòng)能，均衡每一個(gè)制冷壓縮機的時(shí)間，大大的增加了使用期限。

　　2、光刻機用冷水機組蒸發(fā)器的銅管選用內，外螺桿式壓縮機提升管。銅管的表層含有外螺紋，銅管的外表層光潔、排熱效果非常的好。蒸發(fā)器行為主體由25mm厚的PE防靜電膠皮絕緣層，無(wú)冷凝，制冷損害小。

　　3、光刻機用冷水機組維護系統軟件設備包含：制冷壓縮機延時(shí)啟動(dòng)保護裝置、過(guò)流保護器、高壓低壓保護裝置、溫控器、防寒電源開(kāi)關(guān)、熔斷絲電源插頭、電子器件時(shí)間維護閥門(mén)、制冷壓縮機過(guò)過(guò)載保護器、制冷壓縮機經(jīng)常運行保護裝置和出現異常標示保證機器設備一切正常運作。

　　4、智能化的電子計算機自動(dòng)控制系統，它具備多種多樣作用及其紀錄常見(jiàn)故障緣故。實(shí)際操作簡(jiǎn)易，服務(wù)器聯(lián)接到開(kāi)關(guān)電源。設備故障率低，性能高，安裝操作方便，控制系統可及時(shí)，形象化，靠譜地開(kāi)展調節。

5、設備的冷卻器成梯狀低肋管，以提升熱傳導工作能力。銅管表層光潔，可減少壓力，便于清理和維護保養。