1、制冷壓縮機內無(wú)敲擊聲，壓縮機正常運轉，膨脹閥開(kāi)度調節合適，運轉中只有壓縮機吸、排氣聲，不產(chǎn)生敲擊或其它不正常聲響。

　　2、壓縮機各摩擦部位溫度正常，無(wú)激熱現象。壓縮機各摩擦部位、軸承與軸頸接觸良好，潤滑正常，不產(chǎn)生超過(guò)環(huán)境溫度。

　　3、曲軸箱油面處在正常位置，一般壓縮機曲軸箱正常油面應在視油鏡中間位置。如果是兩個(gè)油鏡，則正常油面應在上油鏡的水平線(xiàn)上，但低不得低于下油鏡水平線(xiàn)或見(jiàn)不到油位。另外，在壓縮機運轉過(guò)程中滑油不應起泡。

　　4、油壓過(guò)低會(huì )造成各摩部件表面的干摩或卸載一能量調節機構動(dòng)作遲緩；油壓過(guò)高不但易損壞油泵軸、鍵及傳動(dòng)件，而且會(huì )使各摩擦面之間進(jìn)油過(guò)多，增加摩擦阻力。。

　　5、壓縮機無(wú)結霜現象，制冷系統工作過(guò)程中，壓縮機回氣管路結霜應屬正?，F象，但當操作不良或膨脹閥調整不當時(shí)，往往會(huì )造成壓縮機氣缸壁和機體結霜，嚴重時(shí)可能造成壓縮機“液擊”。

　　6、光刻機冷卻循環(huán)水裝置制冷系統各輔助設備處于正常工作狀態(tài)，膨脹閥開(kāi)度適當；各風(fēng)機及電機運轉平穩；水循環(huán)系統的水泵運轉正常，無(wú)異常聲響；水循環(huán)管路及各連接處無(wú)嚴重漏水現象；更重要的是制冷系統所有設備連接管路不允許有制冷劑泄漏現象。

　　7、光刻機冷卻循環(huán)水裝置制冷系統所有壓力及溫度指示正確，壓力表、溫度表指針?lè )€定；高、低油壓控制器調整適當，在所要求之壓力數值范圍內能起到自動(dòng)控制和保護作用。

8、制冷系統正常工作時(shí)，其冷凝壓力與冷凝溫度，蒸發(fā)壓力與蒸發(fā)溫度呈對應關(guān)系。