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    光刻機冷卻循環(huán)裝置常見(jiàn)系統故障

     更新時(shí)間:2021-03-24 點(diǎn)擊量:730

      1、回液:對于使用膨脹閥的制冷系統,回液與膨脹閥選型和使用不當密切相關(guān)。膨脹閥選型過(guò)大、過(guò)熱度設定太小、感溫包安裝方法不正確或絕熱包扎破損、膨脹閥失靈都可能造成回液。對于使用毛細管的小制冷系統而言,加液量過(guò)大會(huì )引起回液。蒸發(fā)器結霜嚴重或風(fēng)扇故障時(shí)傳熱變差,未蒸發(fā)的液體會(huì )引起回液。溫度頻繁波動(dòng)也會(huì )引起膨脹閥反應失靈而引起回液。

     光刻機冷卻循環(huán)裝置

      2、帶液?jiǎn)?dòng):壓縮機內的潤滑油劇烈起泡的現象叫帶液?jiǎn)?dòng)。帶液?jiǎn)?dòng)時(shí)的起泡現象可以在油視鏡上清楚地觀(guān)察到。根本原因是潤滑油中溶解的以及沉在潤滑油下面了大量的制冷劑,在壓力突然降低時(shí)突然沸騰,并引起潤滑油的起泡現象,很容易引起液擊。

      3、排氣溫度過(guò)高:排氣溫度過(guò)高的原因主要有以下幾種:回氣溫度高、電機加熱量大、壓縮比高、冷凝壓力高、制冷劑的絕熱指數、制冷劑選擇不當。

      4、液擊:為了保證壓縮機的運轉,防止產(chǎn)生液擊現象,要求吸氣溫度比蒸發(fā)溫度高一點(diǎn),即應具有一定的過(guò)熱度。吸氣溫度正常情況下應比蒸發(fā)溫度高。

      5、吸氣溫度高:系統中制冷劑充注量不足,或膨脹閥開(kāi)啟度過(guò)小,膨脹閥口濾網(wǎng)堵塞,回氣管道隔熱不好或管道過(guò)長(cháng)等。

    6、排氣溫度過(guò)低:節流閥或者干燥過(guò)濾器冰堵或臟堵,以及過(guò)濾器堵塞,制冷劑充注量不足。