低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統水泵發(fā)生故障的話(huà)，就需要及時(shí)有效的解決，那么一般來(lái)說(shuō)，故障怎么解決好呢？

　　水泵故障原因分析：

　　水泵交流接觸器上的過(guò)載保護器動(dòng)作。

　　水泵電容器燒壞(單相)。

　　水泵本身問(wèn)題，如：線(xiàn)圈燒壞、軸承壞死等。

　　水泵故障的排除方法：

　　輕按過(guò)流保護器中RESET復位鍵即可。

　　更換電容器。

　　更換水泵(更換水泵時(shí)應注意水泵的轉向)。

　　注意事項：

　　低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統和工業(yè)低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統排除以上故障前都應先檢查各電源連接線(xiàn)路是否有斷開(kāi)、破損、短路等，避免在維修時(shí)帶來(lái)不必要的麻煩。

　　當機器出現故障時(shí)，應請專(zhuān)業(yè)人員進(jìn)行機器檢查維修，嚴禁在機器處理故障時(shí)將機器強行起動(dòng)。

　　工業(yè)低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統起動(dòng)、運轉

　　按調度指令打開(kāi)切換井的進(jìn)出水閘門(mén)，關(guān)閉其他各閘門(mén)。

　　水泵啟動(dòng)前，應向填料函上的接管，引注清水潤滑橡膠軸承，待泵出水后即可關(guān)小，有水滴出為宜，檢查泵軸承位的油位，確保各處水、油路暢通。

　　水泵啟動(dòng)前檢查各連接部位應無(wú)松動(dòng)，用手轉動(dòng)聯(lián)軸器，看是否靈活，泵內是否有響聲。

低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統水泵啟動(dòng)時(shí)，機旁不得站人，啟動(dòng)后應至少守機五分鐘檢查設備情況，如有不正常的振動(dòng)和聲音或出水情況有異常應立鄖停機檢查，不允許投入運行后隨即離開(kāi)機泵。