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| 品牌 | 冠亞制冷 | 冷卻方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 10萬-50萬 | 產地類別 | 國產 |
| 儀器種類 | 一體式 | 應用領域 | 化工,生物產業,電子,制藥,汽車 |
主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備，
?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。
半導體專溫控設備
射流式?低溫沖擊測試機
半導體專用溫控設備chiller
Chiller氣體降溫控溫系統
Chiller直冷型
循環風控溫裝置
半導體?低溫測試設備
電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源
射流式高低溫沖擊測試機
快速溫變控溫卡盤
數據中心液冷解決方案
| 型號 | FLT-002 | FLT-003 | FLT-004 | FLT-006 | FLT-008 | FLT-010 | FLT-015 |
| FLT-002W | FLT-003W | FLT-004W | FLT-006W | FLT-008W | FLT-010W | FLT-015W | |
| 溫度范圍 | 5℃～40℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 流量控制 | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 6bar max | 25～75L/min 6bar max | ||||
| 制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
| 內循環液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R410A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 （DI溫度需要控制10℃以上） | ||||||
| 進出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷卻水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/h | 2m3/h | 2.5m3/h | 4m3/h | 4.5m3/h | 5.6m3/h | 9m3/h |
| 電源380V | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
| 溫度擴展 | 通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃ | ||||||
溫度控制器Chiller 半導體低溫冰水機
溫度控制器Chiller 半導體低溫冰水機
隨著科技的發展，集成電路行業這個領域，準確的溫度控制對于確保芯片的性能和可靠性有一定作用。為了滿足這一需求，集成電路行業廣泛使用了一種設備——光阻回刻刻蝕雙通道chiller。
一、什么是光阻回刻刻蝕雙通道chiller？
光阻回刻刻蝕雙通道chiller是一種專門用于冷卻的設備，廣泛應用于各種需要準確溫度控制的領域。在集成電路行業，光阻回刻刻蝕雙通道chiller的主要作用是提供穩定的冷卻水，以維持芯片制造過程中的溫度恒定。
二、光阻回刻刻蝕雙通道chiller的特點
1、高精度：集成電路行業用光阻回刻刻蝕雙通道chiller具有高精度的溫度控制能力，能夠確保芯片制造過程中的溫度波動變小。
2、高可靠性：由于集成電路對溫度變化非常敏感，因此光阻回刻刻蝕雙通道chiller需要具有高的可靠性，以確保生產過程中的穩定運行。
3、易于維護：為了滿足生產線的連續運行需求，光阻回刻刻蝕雙通道chiller應具備易于維護的特點，方便操作人員快速解決問題。
