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    光刻機冷卻循環(huán)裝置常見(jiàn)系統故障

    簡(jiǎn)要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機冷卻循環(huán)裝置常見(jiàn)系統故障

    • 產(chǎn)品型號:AES-4535
    • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
    • 更新時(shí)間:2024-01-07
    • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1703
    詳情介紹
    品牌LNEYA/無(wú)錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
    價(jià)格區間5萬(wàn)-10萬(wàn)產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
    儀器種類(lèi)一體式應用領(lǐng)域化工,電子,航天,制藥,汽車(chē)

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

     型號AES-4535
     AES-4535W
    AES-6035
     AES-6035W
    AES-8035
     AES-8035W
    AES-A1035WAES-A1235W
    溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
    制冷量-45℃2.5kW    
    -60℃ 2kW   
    -80℃  1.5kW  
    -100℃   1.2kW 
    -120℃    1.2kW
    溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
    溫度轉換時(shí)間-25℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -25℃
    約20s
    -45℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -45℃
    約20s
    -55℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -55℃
    約15s
    -70℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -70℃
    約20s
    -80℃ to 150℃ 約11S
    150℃to  -80℃
    約20s
    空氣要求空氣濾清器<5um
    空氣含油量:<0.1ppm
    空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
    空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
    系統壓力顯示制冷系統壓力采用指針式壓力表實(shí)現(高壓、低壓)
    循環(huán)系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
    控制器西門(mén)子PLC,模糊PID控制算法
    溫度控制控制出風(fēng)口溫度
    可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
    通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
    設備內部溫度反饋設備出口溫度、制冷系統冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有)
    溫度反饋T型溫度傳感器
    壓縮機法國泰康/艾默生
    蒸發(fā)器套管式換熱器
    加熱器法蘭式桶狀加熱器
    制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥)
    操作面板無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線(xiàn)顯示EXCEL 數據導出
    安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過(guò)載保護;高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
    制冷劑冠亞混合制冷劑
    外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
    外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
    外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
    風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機
    水冷型 W帶W型號為水冷型
    水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
    冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
    G3/8
    1.2m³/h
    G3/4
    1.6m³/h
    G1
    2.6m³/h
    G1
    3m³/h
    G1
    電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
    電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
    外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標準顏色7035)
    溫度擴展高溫到 +300℃

     

     

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

    光刻機冷卻循環(huán)裝置常見(jiàn)系統故障

    光刻機冷卻循環(huán)裝置常見(jiàn)系統故障

      1、回液:對于使用膨脹閥的制冷系統,回液與膨脹閥選型和使用不當密切相關(guān)。膨脹閥選型過(guò)大、過(guò)熱度設定太小、感溫包安裝方法不正確或絕熱包扎破損、膨脹閥失靈都可能造成回液。對于使用毛細管的小制冷系統而言,加液量過(guò)大會(huì )引起回液。蒸發(fā)器結霜嚴重或風(fēng)扇故障時(shí)傳熱變差,未蒸發(fā)的液體會(huì )引起回液。溫度頻繁波動(dòng)也會(huì )引起膨脹閥反應失靈而引起回液。

      2、帶液?jiǎn)?dòng):壓縮機內的潤滑油劇烈起泡的現象叫帶液?jiǎn)?dòng)。帶液?jiǎn)?dòng)時(shí)的起泡現象可以在油視鏡上清楚地觀(guān)察到。根本原因是潤滑油中溶解的以及沉在潤滑油下面了大量的制冷劑,在壓力突然降低時(shí)突然沸騰,并引起潤滑油的起泡現象,很容易引起液擊。

      3、排氣溫度過(guò)高:排氣溫度過(guò)高的原因主要有以下幾種:回氣溫度高、電機加熱量大、壓縮比高、冷凝壓力高、制冷劑的絕熱指數、制冷劑選擇不當。

      4、液擊:為了保證壓縮機的運轉,防止產(chǎn)生液擊現象,要求吸氣溫度比蒸發(fā)溫度高一點(diǎn),即應具有一定的過(guò)熱度。吸氣溫度正常情況下應比蒸發(fā)溫度高。

      5、吸氣溫度高:系統中制冷劑充注量不足,或膨脹閥開(kāi)啟度過(guò)小,膨脹閥口濾網(wǎng)堵塞,回氣管道隔熱不好或管道過(guò)長(cháng)等。

    6、排氣溫度過(guò)低:節流閥或者干燥過(guò)濾器冰堵或臟堵,以及過(guò)濾器堵塞,制冷劑充注量不足。

     

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