一、光刻機冷卻系統冷水機的使用注意事項：

　　1）光刻機冷卻系統冷水機組的正常開(kāi)、停機須嚴格按照光刻機冷卻系統冷水機廠(chǎng)家提供的操作說(shuō)明書(shū)的步聚進(jìn)行操作。

　　2）機組在運行過(guò)程中，應及時(shí)、正確地做好參數的記錄工作，如出現報警停機，應及時(shí)通知相關(guān)人員對機組進(jìn)行檢查，如無(wú)法排除故障，可以直接與光刻機冷卻系統冷水機廠(chǎng)家聯(lián)系。

　　3）機組在運行過(guò)程中嚴禁將水流開(kāi)關(guān)短接，以免凍壞水管。機房應有專(zhuān)門(mén)的工作人員負責，嚴禁閑雜人員進(jìn)入機房，操作機組。

　　4）機房應配備相應的靠譜防護設備和維修檢測工具，如壓力表、溫度計等，工具應存放在固定位置。

　　二、光刻機冷卻系統冷水機組停機注意事項

　　1）機組在停機后應切斷主電源開(kāi)關(guān)。在停機時(shí)期間，應該將機組全部遮蓋，防止積灰，與機組無(wú)關(guān)的人員不得接觸機器。

　　2）如機組處于長(cháng)期停機狀態(tài)期間，應將冷水、冷卻水系統的內部積水全部放凈，防止產(chǎn)生銹蝕。水室端蓋應密封住。

　　3）機組長(cháng)期停機時(shí)，應做好維修保養工作。