半導體元件測試系統是一套應用在半導體測試行業(yè)中進(jìn)行高溫低溫測試的系統,其中溫度范圍比較寬,低溫可達-45℃,高溫可達250℃,半導體元件測試系統整個(gè)系統為全密閉系統,高溫時(shí)不會(huì )有油霧、低溫不吸收空氣中水分,系統在運行中不會(huì )因為高溫使壓力上升,低溫自動(dòng)補充導熱介質(zhì)。
半導體元件測試系統整個(gè)真空室位于擴散泵正上方,有利于抽氣,加快抽氣速率,使真空室容易達到高真空。真空室內設有紫銅封閉液氮池,可以在高真空下吸附氣體分子,提高真空度1個(gè)數量。使被測物在高真空中,不受環(huán)境影響進(jìn)行測試、分析。
半導體元件測試系統真空室裝置的真空室的法蘭與真空機組的擴散泵抽氣法蘭對接,開(kāi)口處是20mm厚的防爆玻璃為觀(guān)察窗口,內腔由紫銅液氮池,由漏斗將液氮倒入,經(jīng)直徑6mm的紫銅管進(jìn)入液氮池,另一根管口是揮發(fā)出氣口,池頂的平臺是樣品測試臺,上面有15根測試用線(xiàn),引出真空室外,在外面連接各種測量設備。真空室內的氣體分子被吸附固定在液氮池表面,提高了真空度。透過(guò)高溫防爆玻璃,還可以觀(guān)察測量樣品的位移變化和發(fā)光強度。
半導體元件測試系統取放樣品時(shí),先將固定玻璃的緊固圈旋開(kāi),拿開(kāi)防爆玻璃再取放樣片。法蘭口與擴散泵的抽氣口連接,真空度在1小時(shí)內可達1.5×10-3Pa。需要低溫時(shí)將2升液氮由漏斗到入內腔液氮池,出氣孔位于內腔液氮池的頂部,由直徑6mm的紫銅管引出密封真空室外,樣品五分鐘內可由室溫降到-45℃。在液氮蒸發(fā)減少過(guò)程中,液面降低,溫度逐漸上升,控制液面的高低,就可以控制溫度??刂聘唛y大小,就可以控制真空度。需要高溫測試時(shí),可由調壓器控制真空室內部的輻射式加熱器提升到較高250℃??赏ㄟ^(guò)引入線(xiàn)控制加熱溫度,進(jìn)行導電率、發(fā)光率、變形率、超導率的測試。
半導體元件測試系統的導熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)溫度、制冷系統冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度都可以反饋,升降溫快速,效果穩定。(注:本來(lái)部分內容來(lái)百度學(xué)術(shù)相關(guān)論文,如果侵權,請及時(shí)聯(lián)系我們進(jìn)行刪除,謝謝。)
型號 | TES-4555 / TES-4555W | |||||
溫度范圍 | -45℃~250℃ | |||||
加熱功率 | 5.5kW | |||||
制冷量 | 250℃ | 5.5kW | ||||
100℃ | 5.5kW | |||||
20℃ | 5.5kW | |||||
0℃ | 5kW | |||||
-20℃ | 2.9kW | |||||
-40℃ | 0.9kW | |||||
導熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.3℃ | |||||
系統壓力顯示 | 制冷系統壓力采用指針式壓力表實(shí)現(高壓、低壓) 循環(huán)系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
控制器 | 西門(mén)子PLC,模糊PID控制算法,具備串控制算法 | |||||
溫度控制 | 導熱介質(zhì)出口溫度控制模式 外接溫度傳感器:(PT100或4~20mA或通信給定)控制模式(串控制) | |||||
可編程 | 可編制10條程序,每條程序可編制45段步驟 | |||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
設備內部溫度反饋 | 設備導熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)溫度、制冷系統冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有) | |||||
外接入溫度反饋 | PT100或4~20mA或通信給定 | |||||
串控制時(shí) | 導熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設定可控制 | |||||
溫差控制功能 | 設備進(jìn)液口溫度與出液口溫度的溫度差值可設定可控制(保護系統安全) | |||||
密閉循環(huán)系統 | 整個(gè)系統為全密閉系統,高溫時(shí)不會(huì )有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統在運行中不會(huì )因為高溫使壓力上升,低溫自動(dòng)補充導熱介質(zhì)。 | |||||
加熱 | 指系統大的加熱輸出功率(根據各型號) 加熱器有三重保護,獨立溫度限制器,確保加熱系統安全 功率大于10kW采用調壓器,加熱功率輸出控制采用4~20mA線(xiàn)性控制 | |||||
制冷能力 | 指在不同的溫度具備帶走熱量的能力(理想狀態(tài)下),實(shí)際工況需要考慮環(huán)境散熱,請適當放大,并且做好保溫措施。 | |||||
循環(huán)泵流量、壓力 max | 采用冠亞磁力驅動(dòng)泵/德國品牌磁力驅動(dòng)泵 | |||||
50L/min2.5bar | ||||||
壓縮機 | 艾默生 | |||||
蒸發(fā)器 | 采用DANFOSS/高力板式換熱器 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥) | |||||
操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線(xiàn)顯示\EXCEL 數據導出 | |||||
安全防護 | 具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過(guò)載保護;高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
制冷劑 | R-404A / R507C | |||||
接口尺寸 | G3/4 | |||||
外型尺寸(風(fēng))cm | 55*95*170 | |||||
外型尺寸(水)cm | 45*85*130 | |||||
風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式,上出風(fēng)型式,冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機 | |||||
水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
水冷冷凝器 | 套管式換熱器(帕麗斯/沈氏 ) | |||||
冷卻水量 at 25℃ | 1.5m3/h | |||||
電源 380V50HZ | 9kW max | |||||
電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 (標準顏色7035) | |||||
隔離防爆 | 可定制隔離防爆(EXdIIBT4) 無(wú)錫冠亞防爆產(chǎn)品安裝許可證號:PCEC-2017-B025 | |||||
正壓防爆 | 可定制正壓防爆(EXPXdmbIICT4) 正壓系統必須是水冷設備 無(wú)錫冠亞防爆產(chǎn)品安裝許可證號:PCEC-2017-B025 | |||||
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