微型高低溫冷卻循環(huán)器常應用于對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：?jiǎn)尉磧艮D載、印刷機、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
微型高低溫冷卻循環(huán)器特點(diǎn)
風(fēng)冷式全封閉制冷壓縮機,降溫速度快。
微機智能控制,溫度溫度。
數顯分辨率0.1℃或0.01℃，具有溫度測量值偏差修正功能。
溫度超溫保護,自動(dòng)切斷電源并報警。
制冷系統過(guò)熱、過(guò)流自動(dòng)保護。
微型高低溫冷卻循環(huán)器使用前的準備
1、次使用時(shí)，應拿開(kāi)上蓋，加入水或不凍液，加離頂蓋上口3CM為止。
2、把所有的冷卻循環(huán)泵，接入到實(shí)驗所用的系統中，用保溫軟管接該設備進(jìn)出液口與實(shí)驗儀器的進(jìn)出液口對應連接好。此循環(huán)為密閉系統循環(huán)。
3、如果只用冷卻循環(huán)泵作業(yè)時(shí)，把循環(huán)液出進(jìn)、連接起來(lái)即可。
4、當槽內液體為可燃易爆時(shí),嚴禁開(kāi)啟加熱。
5、控制35度以下時(shí),如控溫要求不高,只要打開(kāi)制冷開(kāi)關(guān),關(guān)閉加熱開(kāi)關(guān),把參數降溫制冷回差dn設定為-0.2度,靠壓縮機起停來(lái)控溫。如控溫要求高,打開(kāi)制冷開(kāi)關(guān),加熱開(kāi)關(guān),把參數降溫制冷回差dn設定為10度,壓縮機不停,靠加熱來(lái)控溫。
6、控制35度以上時(shí),只要打開(kāi)加熱開(kāi)關(guān),關(guān)閉制冷開(kāi)關(guān)。
